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AIXTRON公司购买德国电化学CV剖面分析专家WEP公司全自动电化学CV分布仪CVP21
2017-04-27 10:45:34   来源:   评论:0 点击:

用于测量半导体材料(结构,层)中的掺杂浓度分布

Thomas Swan CCS用来研发GaN/ZnO光电子


最近AIXTRON公司的Thomas Swan CCS频频传出好消息。日前,Thomas Swan 3×2" CCSTM外延反应室成功的被安置在德国布仑瑞克大学的半导体技术研究所。目前这套设备正式投入使用。

该设备可生长高质量的GaN和ZnO外延材料,它们将用于研究基础材料以及光电器件的特性。此外它将与布仑瑞克大学的其他研究所的设备互为补充,比如AIX200 MOCVD系统。ZnO是II-VI族化合物,属于宽带隙半导体,它对于短波长和紫外光LED、激光器和光探测器来说很有吸引力。ZnO是一种透明和可导的衬底材料,与采用S
iC和蓝宝石衬底的LED来说,ZnO LED更亮。针对阳盲探测器而言,ZnO掺镁后制得的器件的工作范围在深紫外区域。

该研究所的负责人Andreas Waag教授表示,选择Thomas Swan CCS技术主要是因为它能满足他们对材料均一性、厚度、掺杂度和混合物的需求。之前该研究所一直与AIXTRON保持良好关系,此次购买3×2"CCS是为了研究更复杂的光电和纳米结构。

同时他们还从德国电化学CV剖面分析专家WEP公司购得全自动电化学CV分布仪CVP21,用于测量半导体材料(结构,层)中的掺杂浓度分布。

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